助力半导体产业自主发展新突破 双良新能源与卓远半导体签署战略合作协议

　　10月27日,第二届中国·如皋第三代半导体及智能制造国际研讨会在江苏如皋举行。此次研讨会,以“广纳高端人才智力,助推实体经济发展”为主题,围绕第三代半导体及智能制造方面开展了学术研讨和技术交流,吸引俄罗斯、乌克兰、德国等多国的知名学者参加。来自中国工程院、复旦大学、哈尔滨工业大学等数十家重点高校、科研院所的行业领军人物,与上百家半导体企业人士济济一堂深入交流。会上,中乌第三代半导体产业技术研究院宣布成立并落户如皋。

　　成果斐然:双良新能源与卓远半导体签订协议

　　在江苏卓远半导体设备及碳化硅晶体材料生产项目现场,双良节能系统股份有限公司(以下简称“双良节能”)的子公司江苏双良新能源装备有限公司(以下简称“双良新能源”)与江苏卓远半导体有限公司(以下简称“卓远半导体”)就“集成电路级大尺寸高性能单晶硅的生长智能装备技术的开发合作”、“第三代半导体碳化硅晶体批量生产项目的量产化技术合作”签署战略合作协议。

　　强强联合实现高端制造转型

　　此次双良新能源与卓远半导体强强联合,旨在以国家大力发展半导体产业、地方产业创新升级为契机,通过战略合作实现双方优势互补,填补国内大尺寸单晶硅生产设备领域空白,并推动第三代半导体碳化硅(SiC)晶体量产化,实现国内半导体产业在高端装备制造领域自主化取得新突破。

　　作为落户如皋市高新区的重点产业项目,由江苏省“双创”人才、留德博士张新峰领衔的卓远半导体,充分发挥团队在设备和热场设计、软件开发、工艺研发等方面的高层次技术优势,目前正着力发展“第三代半导体”碳化硅(SiC)晶体的装备制造和晶圆生产业务。团队拥有多学科核心研发人员 22 名,其中博士及以上学历 7 名,在半导体晶体领域拥有丰富的学术理论和实操经验,并借助德中工业创新发展中心和海内外高等院所,开展人才引进与人才培养,进一步加强团队建设。

　　此次合作,卓远半导体能够依托双良的质量体系管控实力、多晶硅装备制造核心技术和自动化控制系统开发能力、相关产业设施配套资源,以及双良节能旗下的双良低碳产业技术研究院的团队支持,在单晶炉设备研发方面获得最优最快的机械加工制造条件和行业生产经验。双良将借助卓远半导体在晶体材料及全自动智能设备制造方面的专业经验和优势资源,快速进入半导体单晶炉及第三代半导体碳化硅高端装备制造领域,进一步实现由传统制造向高科技智能制造的转型升级。

　　掌握核心技术加速高端设备国产化

　　双良低碳产业技术研究院章国明博士介绍,单晶硅是一种半导电性显著的材料,以高纯度(99.9999999%至99.9999999999%)的多晶硅为原料,通过单晶炉拉制而成。这种良好的半导体材料被广泛用于制造超大规模集成电路、半导体芯片、记忆体芯片和中低频、中低功率器件等,是现代信息社会不可或缺的基础物质。由于单晶硅在诸多领域有着不可替代的地位,欧美日等国纷纷将其提升至国家战略层面,争抢技术制高点。

　　伴随半导体信息产业的迅猛发展,单晶硅材料与单晶炉的市场需求都十分旺盛。据Yole Development(法国知名市场调研和战略咨询公司)预计,未来五年,IC硅(电子级硅)市场将持续供不应求,丰厚的市场回报将进一步支撑技术开发,持续拉大技术差距。

　　我国目前已较为全面地布局了IC 硅全产业链,并在磊晶阶段日趋成熟,但在晶圆和设备制造环节仍在努力实现突破。

　　目前,世界市场上90%的电子级大尺寸单晶片供应都由世界前五家头部企业垄断。国内用于制造大规模集成电路的 8-12 英寸单晶硅,绝大部分来自进口。而用于制造极大规模集成电路的大直径(12英寸以上)高性能单晶硅,其生长工艺、设备技术等更被国外企业垄断。

　　中国企业要想不被“卡脖子”,瞄准世界水平实现技术追赶、并凭借市场弯道超车,单晶硅及其生产装备完全自主化是必由之路。在国家政策与市场机遇的驱动下,双良携手卓远半导体,开启“大直径高性能单晶硅生长设备研发”,具有重要而深远的意义。

　　早在进入多晶硅行业之初,双良新能源就始终坚持多晶硅还原核心系统的研发,勇于打破国内多晶硅技术和市场长期被国外公司垄断的局面,掌握核心技术领域的主动权。通过攻克生产运行工况、材料、结构、制作和表面处理等一系列难题,集成底盘、钟罩、供电系统、绝缘系统、供料系统和冷却系统等,打造出了拥有自主知识产权的高质量国产设备。凭借在多晶硅还原炉领域的厚积薄发,双良新能源已形成一套完善的还原技术研发体系,研制的还原炉电耗低、纯度高、产量大,综合技术水平业内领先。

　　做半导体行业的系统设备集成服务商

　　目前,双良还原炉系列已拥有18对棒、24对棒、36对棒、40对棒、48对棒、72对棒的规格。按照电子级多晶硅要求设计制造的24对棒还原炉也已取得了成功应用,在性价比方面相较进口设备更具竞争优势。

　　矢志创新、锐意进取的双良新能源,是中国多晶硅行业发展的推动者和见证者。

　　双良新能源始终践行“一切以客户为中心”的理念,以严谨的技术作风和诚信务实的服务,与国内二十多家多晶硅企业保持战略合作关系,誓做多晶硅行业的专业系统设备集成服务商。在全球产能逾万吨级的18家企业中,有10家来自中国,双良设备为这10家多晶硅行业骨干企业提供持续、稳定、健康的服务。迄今为止,双良新能源已累计为全国多晶硅企业提供了五千多套生产设备,其中除还原系统外还包括精馏塔、双管板换热器和大型吸附设备等。

　　1982年创立的双良,矢志不渝兴民族工业,创民族品牌。在传统制造业面临新一轮科技革命和产业变革的当下,双良牢记初心使命,向着高端产品智能制造、服务型制造的高质量发展目标,接续奋斗前行。站在新的高技术领域,双良将与卓远半导体携手共进,为中国半导体产业发展注入新活力,做出新贡献。